Die Maschine wird aber zum Sputern verwendet! Ist eine Vakuumbeschichtungsanlagen für Wafer wird in der Halbleiterindustrie verwendet.

:-)


Am 08.03.2013 18:14, schrieb Ondřej Hošek:
On 08.03.2013, at 16:34, peter purgathofer <purg@igw.tuwien.ac.at> wrote:

vermutlich gibts sowas auf der TU, irgendwo beim maschinenbau. ich hab keine ahnung genau, aber eine suche auf der TU könnt schon was zutage bringen.

Das Institut für Festkörperphysik scheint so ein Gerät zu haben: http://www.ifp.tuwien.ac.at/31.0.html

ob und wie man das dann auch nutzen kann, ist eine andere frage...

+5 Insightful

Liebe Grüße,
~~ Ondra


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